近日，2025 年度广东省科学技术奖正式公示。优艾智合牵头的 "面向半导体制造的高稳定移动操作机器人关键技术与系统" 项目，斩获 2025 年度广东省科学技术奖技术发明奖一等奖。

在半导体制造中，晶圆薄且脆，转运环节极易受损，过去主要依赖人工搬运。移动操作机器人以高洁净、高稳定、高灵活的特性进入这一场景，减少磕碰风险，稳住良率，也让产线效率提升不再卡在搬运环节。

经历十余年技术攻关，项目让移动操作机器人在真实作业中同时做到了 "稳、准、安全"。

稳

作业物料振动控制达到国际领先水平，柔顺操作和平稳运行从根源减少晶圆被振动损坏。

准

兼顾大范围导航定位与末端抓取精度，车间复杂环境里，精准完成物料取放。

安全

实现 "手眼脚" 一体化安全管控，安全超行业标准，规避车间各类磕碰事故。

项目成果已经在半导体产线上大规模落地。OW 系列、ATS 系列移动操作机器人进入国内外十余家晶圆厂，融入 8/12 寸晶圆和 28nm 芯片生产流程，7×24 小时不间断运行，降低晶圆损坏率，带动良率提升和产能扩张。

从原材料、晶圆制造到封装测试等半导体产业链全环节，优艾智合的移动操作机器人批量上岗，让半导体制造效率革命成为产线上看得见的日常。

（来源：优艾智合）